性 别

男

出生年月

1983.02

最高学历、学位

博士研究生

职 称

副教授

职 务

人事处副处长

电子邮箱

mzhao@usts.edu.cn

个人简介

一、基本情况：

中国电子学会敏感电子学分会气湿敏专业委员会委员

中国仪器仪表学会传感器分会第五届、第六届理事会理事

二、主要研究领域及学术成就：

研究方向一：基于真空技术的环境模拟及传感器性能测试平台研发

研究方向二：基于纳米材料和MEMS工艺的微纳气体传感器

学术成果：开发了两款响应时间小于1秒的MEMS微型氢气传感器，自主研发一系列气氛控制和环境模拟技术，已在上海交通大学、哈尔滨工业大学、海军军医大学、中科院上海微系统所、中科院宁波材料所、英国卡迪夫大学等海内外知名研究机构获得应用。主持和参与了6项国家级科研项目，10余项横向研发课题，授权发明专利5项，实用新型专利近20项，在SNB、ACS Sensors等传感器领域权威期刊发表SCI论文30余篇。

三、代表性科研成果：

3.1 基于真空技术的环境模拟及传感器性能测试平台研发

硕士期间主要从事环境参量模拟、气氛控制、光精度光电信号测试、以及气敏材料原位测试相关科学仪器装置与大型检测平台的设计、搭建、测试等工作。所涉及知识主要有：（1）自动化技术，如：LabVIEW、PLC、单片机、FPGA等；（2）测控技术，如力、热、光、电、磁等基本物理量的高精度测量与控制；（3）真空技术，各类真空获得装置、检测装置的设计、制造与应用；（4）机械加工：CAD、Solidworks等软件的使用，基本机械装置和结构的设计与加工。

本方向学生需要有吃苦耐劳精神，毕业后能够独立带领团队完成科学仪器和自动化检测装备开发。

高精度自动化氢气传感器测试系统

（山东省低维量子传感器件工程技术研究中心）

超材料红外发射器件测试系统

（光电同步测试技术、英国卡迪夫大学）

自主研发各类气体传感器检测系统

（上海交通大学、哈尔滨工业大学等单位）

3.2 基于纳米材料和MEMS工艺的微纳气体传感器

硕士期间主要从事纳米气敏材料、Si基微加工技术、MEMS气体传感器相关研究工作。所涉及知识主要有：（1）材料制备与表征，如：PVD、CVD等真空薄膜材料制备技术、XRD、TEM、SEM、XPS等材料表征技术；（2）半导体制造技术，如光刻、刻蚀、氧化、深槽刻蚀等微纳加工技术；（3）半导体相关基础知识：如固体物理、半导体物理、普通物理、无机化学等

本方向学生需要有扎实的物理基础，毕业后能够从事传感器研发、薄膜制备、材料表征、半导体制造等相关工作。

钯基MEMS氢气传感器

WO₃纳米薄膜氢气传感器